ПОДКУЙКО ВАЛЕНТИН АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к металлургии полупроводников, в частности к производству стержней поликристаллического кремния, имеющих отклонение от круглой формы в сечении и от прямолинейности оси. Цель изобрете- . ния - уменьшение потерь обрабатываемого материала и повышение геометрической формы детали за счет нежесткой фиксации стержней при их вращении и продольном перемещении. Устрой...