ЧЕМЕРЕСЮК ГЕОРГИЙ ГАВРИЛОВИЧ

  Изобретение относится к области газоаналитической техники и может быть использовано для контроля в технологических процессах содержания сернистого ангидрида в индифферентной газовой среде. Цель изобретения - снижение инерционности срабатывания анализатора и повьшение избирательности анализа. На нагретую, до температуры полного обезгаживания диэлектрическую подложку наносят методо...

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий и может найти практическое применение в полупроводниковой промышленности, обеспечивает повышение однородности толщины и структурно-чувствительных параметров пленки и снижение потерь испаряемого соединения/Устройство включает обогреваемый цилиндрический кварцевый реактор,...