ПЕТРАУСКАС ГЯДИМИНАС БРОНЕСЛОВИЧ

  Изобретение относится к изготовлению тонкопленочных схем СВЧ-диапазона и может быть использовано при изготовлении отдельных элементов электрических схем на непроводящей подложке С целью улучшения адгезии слоя к подложке и. повышения производительности изготовление тонкопленочных проводниковых элементов на кварцевой подложке осуществляют формированием слоя грунтующего материала из...