ШЕВЯКОВА Л.Н.

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для полирования стекляннях пластин при изготовлении фотошаблонов . Цель изобретения - повьппение качества обработки стеклянных изделий. Цель достигается за счет использования в суспензии следующих компонентов , Mac.Z: двуокись церия с удельной поверхностью 5 10 -2-10 10-55, поверхностно-активное вещество , выбр...