Агабеков В.Е.

 Изобретение касается применения 1-бензилтио-1-пиперидино-2-нитро-3, 4,4-трихлор-1,3-бутадиена - светочувствительного соединения в вакуумных фотолитографических процессах, в которых достигается лучашая селективность травления (в 2,4 раза) без необходимости термтсатирования подложки (в известном случае ведут охладдение до -70oC. Кроме того, органические пленки удаляются с подложки полностью...