Фурсова Е.С.

 1. Устройство для управления режимом электронно-лучевого испарителя, содержащее источник постоянного напряжения, отрицательный вывод которого через по меньшей мере трехэлектродную электронную лампу подключен к катоду электронной пушки, датчик режима работы, первый и второй выходы которого соединены с соответствующими входами блока сравнения, связанного с управляющим электродом электронной...

 1. Устройство для электронно-лучевого испарения, преимущественно при обработке подложек большой площади, содержащий электронно-лучевую пушку, высоковольтный источник постоянного напряжения, электрически соединенный с катодом электронно-лучевой пушки, регулятор режима испарения в виде транзисторного ключевого элемента, электрически соединенного через блок сравнения с волноводными датчиками...