ЛОПУШЕНКО ВИКТОР КОНСТАНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьшение разрешающей способности за счет применения измерительной периодической структуры, формчруемой стоячей поверхностной акустической волной на пьезоэлектрике, и использования в качестве фотопрйемника линейки на основе прибора с зарядной связью. На поверхности изме рительной периодической структуры 1,...