Грицкевич Р.Н.

 Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения - повышение качества покрытий и снижение непроизводительных потерь испаряемого материала. Система подачи материала 4 состоит из тигля 5, соединенного с испарителями через теплоизолированную керамическую прокладку 6. Испаритель представляет собой решетку со стенками в виде прогреваемых ножевидных элементов 1. Последние пре...

 Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано для осаждения пленок при изготовлении приборов микроэлектроники, оптических покрытий, элементов интегральной оптики. Целью изобретения является расширение технологических возможностей за счет снижения температуры нагрева осаждаемого материала при обеспечении высокой степени кластеризации молекулярного пара. Сущность сп...