Обухов В.Е.

 Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения - повышение качества покрытий и снижение непроизводительных потерь испаряемого материала. Система подачи материала 4 состоит из тигля 5, соединенного с испарителями через теплоизолированную керамическую прокладку 6. Испаритель представляет собой решетку со стенками в виде прогреваемых ножевидных элементов 1. Последние пре...

 Изобретение может быть использовано для получения активных и пассивных слоев методом термического испарения материала в вакууме. Цель изобретения - улучшение качества покрытия и увеличение коэффициента использования материала покрытия. Устройство содержит подложкодержатель 1, испаритель 3, установленный напротив него, формирователь 4 потока пара, выполненный в виде коаксиально расположенн...