МЕТЕЛЕВ ЛЕВ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к области обработки резанием неметаллических материалов, а именно к разрезке полупроводниковых пластин, и может быть использовано в электронной промышленности . Целью изобретения является повышение точности отрезаемых пластин . Цель достигается тем, что одна пара направляющих, на которьж установлены шпиндель и вакуумный стол, выполнена цилиндрической, а друг...

  Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин, и позволяет повысить точность разрезания пластин. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим. Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14-17, которые им...