ГРУЗИНОВ СЕРГЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к химии твердых веществ, точнее к химии тонких покрытий, и может быть приме нено при создании изделий оптики, микроэл ектроники , фотоэнергетики, в машиностроении и при изготовлении композиционных материалов. С целью синтеза покрытий заданной толщины, на поверхности крупногабаритных изделий форсунка М устройства выполнена в виде трех патрубков труба в трубе,...