БЕЛОВ МИХАИЛ ВЕНИАМИНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и м.б. использовано в вакуумных установках различного назначения. Цель изобретения - повышение чувствительности в диапазоне низкого вакуума. Манометрический упругий элемент выполнен в виде сильфона 2, в котором размещена спираль терморезистора 3. Повышение давления разреженного газа измеряемой среды приводит к охлаждению терморезистор...