ЖИВНОВ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ

  Изобретение относится к технологии оптоэлектронных приборов и может быть использовано для селективного травления стекла по отношению к прозрачным проводящим пленкам и . Цель изобретения состоит в повышен И селективности по отношению к пленке InjOjrSnO. Раствор .для травления стекла содержит, г/л: 50-820; 15,14-75,7; вода остальное. Скорость травления термического SiOj 2-45 нм/мин...