Зеленко А.И.

 Изобретение относится к устройствам для получения интенсивных ленточных пучков ионов металлов, включая тугоплавкие, их сплавов, и может быть использовано для технологических целей (ионная имплантация, осаждение пленок заданного материала в вакууме и т.д.) и научных исследований. Целью изобретения является получение ленточных пучков тугоплавких металлов с высоким коэффициентом использовани...