ЛОГИНОВ ПАВЕЛ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к машиностроению , а именно к виброзащитной технике, и предназначено для виброизоляции прецизионного оборудования. Целью изобретения является повьшение эффективности виброизоляции и надежности за счет отсутствия непосредственного жесткого контакта в вертикальном и горизонтальном направлениях между камерами 1 и 3 и обеспечения соосной установки и ограниченног...

  Изобретение относится к устройствам вакуумной техники и может использоваться в вакуумных установках для передачи изделий из одной вакуумной камеры в другую, например для передачи подложек в установках электронной и ионной спектроскопии. Целью изобретения является повышение надежности работы за счет увеличения жесткости конструкции. Вакуумный манипулятор состоит из герметического к...