САТУНКИН ГЕНАДИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК А1 „„SU„„1377599 (51)4 G 01 G 9 00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЬП ИЯМ ПРИ ГКНТ СССР (21) 4066749/24-10 (22) 12.05.86 (46) 29.02.88. Бюл. 1Ф 8 (71) Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР (72) Г.А.Сатункин, А.ГеЛеонов и В.А.Лобаторин (53) 681.26(088.8) (56)...