Ронжин Л.С.

 Устройство для плазмохимического синтеза диэлектрических слоев, содержащее цилиндрическую камеру синтеза диэлектриков с дном, выполненным в виде подложкодержателя с нагревательным элементом, с отверстиями для откачки камеры и напуска газов, и камеру активации с ВЧ-электродом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества диэлектрических слоев на полупроводниковых подложках путем сжати...

 1. Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум, содержащее рабочую и шлюзовую камеры с затвором, съемный контейнер с подложкодержателем и затвором, расположенными в шлюзовой камере, шток с приводом возвратно-поступательного перемещения, соединенный с затвором шлюзовой камеры, и узел сцепления затворов контейнера и шлюзовой камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения надежност...