МАКСИМЕНКО ИРИНА ГРИГОРЬЕВНА
Изобретатель МАКСИМЕНКО ИРИНА ГРИГОРЬЕВНА является автором следующих патентов:
Гетеродинное устройство для измерения толщины стравливаемых и напыляемых слоев
Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьшение точности измерения за счет устранения влияния накло на образца на результаты измерений. Устройство содержит оптический излучатель 1, светоделительный элемент 2, поляризационную призму .3 и два приемных канала. Оптический излучатель 1 формирует световой поток, содержащий две линейные взаимно-ортого...
1384949