НЕЧАЕВ Б.А.

  Изобретение относится к.технике получения потоков заряженных частиц и может найти применение в ионной имплантации, легировании и нанесении пленок и покрытий. Целью изобретения является увеличение КГЩ источника ионов, плотности ионного -тока и поперечного сечения ионного пучка. На поверхность мишени воздействуют лазерным излучением, мощность которого равна критической мощности исп...