МЯГКОНОСОВ П.П.
Изобретатель МЯГКОНОСОВ П.П. является автором следующих патентов:
Устройство для нанесения слоя фоторезиста на подложки
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых иитегральньпс схем, микросборок, устройств на поверхностных акустических волнах и т.п. Устройство для нанесения слоя фоторезиста (ф) на подложки содержит сосуд (с) 1 с герметичной крышкой 2, на которой закреплен на вьщвгасном кронштейне 8 держатель 6 с подложками 7„ Часть объема...
1385932
Способ функциональной настройки гибридных интегральных схем
СОЮЗ СОВЕТСНИХ доЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН (51)5 Н 01 1. 21/70 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ. (46) 15. 12. 91. Бюл, Р 46 (21) 4100906/25 (22) 04 ° 08 ° 86 (72) П.П. Мягконосов и Б.Д,Платонов (53) 621.382(088.8) (56) Вожеиии И.Н. и др, Иикроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. M. Радио и связь, 1985, с. 124-125, Лоу Л....
1387807
Способ сушки слоя фоторезиста на подложке и устройство для его осуществления
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель изобретения - улучшение качества покрытия. Подложки с нанесенным слоем фоторезиста подвергают сушке в камере групповой обработки . Контроль процесса осуществляют путем измерения диэлектрической проницаемости материала слоя емкостным метопом...
1572337