Случак И.И.

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при конструировании интегральных полупроводниковых датчиков давления. Цель изобретения - уменьшение размеров, повышение линейности и чувствительности. Упругий элемент датчика выполнен из монокристаллической пластины кремния ориентации { 100 } в виде прямоугольной мембраны. Мембрана состоит их жесткого основания и дефо...

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения механических воздействий (давлений, силы и т. д. ). Целью изобретения является повышение точности измерения. При воздействии измеряемого давления в центре мембраны 1 появляются сдвиговые напряжения, преобразуемые с помощью тензоэлемента в выходной электрический сигнал между выводами 4 при протекании тока...