КАРМАНОВ АНАТОЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в системах автоматического числового управления координатными перемещениями при обработке изделий микроэлектроники. Цель изоб .ретения - повьшение точности позиционирования путем коррекции положения объекта в зоне соответственно экстремальным значениям датчика центра контактной площадки. Устройс...