АБДУЛОВ А.В.

  Изобретение может быть использовано для получения тонких пленок на длинномерных изделиях. Цель изобретения - повышение качества и производительности устройства. Между катодом 1 и анодом (А) 7 зажигается устойчивый дуговой разряд при давлении в камере ниже 5-10 мм рт.ст. Переключателем токоподводов потенциал с секцией А 7 переключается на короткое время к дополнительному А 8, расп...

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может найти применение в машиностроении. Целью изобретения является повышение качества покрытий за счет увеличения равномерности толщины. Устройство для нанесения покрытий состоит из расходуемого катода 1, анода, выполненного из двух электроизолированных секций 2, симметрично расположенных по обе стороны катода, двух экранов...