АБДУАЗИМОВА Ш.Т.

  Изобретение может быть использовано для получения тонких пленок на длинномерных изделиях. Цель изобретения - повышение качества и производительности устройства. Между катодом 1 и анодом (А) 7 зажигается устойчивый дуговой разряд при давлении в камере ниже 5-10 мм рт.ст. Переключателем токоподводов потенциал с секцией А 7 переключается на короткое время к дополнительному А 8, расп...