ГВАРДИОНОВ ЮРИЙ БОРИСОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для измерения толщины покрытий оптическими методами. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем одновременного определения толп;ины, показателя преломления пленки и остаточных напряжений в ней. Указанная цель достигается тем, что в известное устройство введены лазер 11, светоделите...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении толщины и показателя преломления покрытий. Целью изобретения является повышение достоверности и точности измерений за счет снижения влияния внешних вибраций. Система зеркал формирует из излучения лазера два луча света и направляет их на подложку под разными углами, отраженное от подложки излучени...