Горбатов Ю.Б.

 Источник ускоренных нейтральных частиц, содержащий разрядную камеру с системой извлечения ионов, включающей выходной электрод с отверстиями, камеру нейтрализации, герметично соединенную с выходным торцом разрядной камеры, и устройство для сепарации заряженных и нейтральных частиц, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени однородности распределения плотности тока нейтральных части...