НОВАК АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к электронно-зондовым приборам для исследования микроструктур, в частности к электронно-зондовой технике неразрушающего контроля приповерхностных слоев полупроводников микроструктур, и предназначено для визуализации термоупругих неоднородностей в образце . Цель - повышение точности контроля при термоакустической дефектоскопии . Устройство содержит электронно...