ШЕСТАКОВ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к электронно-зондовым приборам для исследования микроструктур, в частности к электронно-зондовой технике неразрушающего контроля приповерхностных слоев полупроводников микроструктур, и предназначено для визуализации термоупругих неоднородностей в образце . Цель - повышение точности контроля при термоакустической дефектоскопии . Устройство содержит электронно...

  Изобретение относится к диафрагмирующим управляемым устройствам электронной микроскопии и может использоваться в качестве исполнительного механизма, работающего автономно в вакууме. Цель изобретения - повышение точности позиции опирования достигается за счет введения пьезокерамического привода и элементов, обеспечивающих азимутальное и продольное перемещение диафрагмы. Диафрагма с...

  Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел. Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции достигается путем размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы. Устройство содержит столик, над которым расположена зондовая...

  Изобретение относится к устройствам для исследования макроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, в физике твердого тела, металлургии, геологии . Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов. Устройство для контроля контак...

  Изобретение относится к дифрактометрам рентгеновских излучений, возбуждаемых в образце электронным пучком 2 растрового электронного микроскопа, и может найти применение в механизмах, автономно работающих в вакууме и осуществляющих точную подачу исполнительных органов. Цель изобретения - повышение точности фокусировки кристалла. Устройство содержит револьверную головку 1 с закрепл...

  Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для наклона столиков объектов в растровых электронных микроскопах. Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций его составных элементов. Для этого в устройстве наклона привод вращения кронштейна , на котором закреплен столик, о...

  Изобретение относится к системам тестирования полупроводниковых микросхем в растровых электронных микроскопах и может найти применение в полупроводниковых технологиях, микроэлектронике, литографии и приборостроении при получении информации о физических свойствах 8 8 S 7 поверхностей материалов, например, сверхбольших интегральных схем, Цель изобретения - повышение точности позици...