СЛУЧАК ИГОРЬ ИОСИФОВИЧ

  Изобретенне отиоснтся к измерительной технике и позволяет рас1ннрнть частотный диапазон нреобразовання давления нутем новьпнения резонансной частоты сопстве1П1ы.х .ме.чаинческнх колебаний унругого э, 1емента. В монокристаллнческоГ кремниевой н.тастнне - основании I сформирована тонкая мембрана 2 с жесткнми выступами 3, в которых зынолнены выемки 4 в виде усеченно иирамиды. Г.чуби...