Кожинова Н.И.

 Изобретение относится к электронной технике и предназначено для создания дискретных полупроводниковых приборов и сверхбыстродействующих интегральных схем. Цель изобретения - повышение надежности металлических дорожек управляющего электрода и повышение воспроизводимости параметров приборов. Способ состоит в следующем. На полуизолирующей подложке выделяют активную область прибора, создают о...