БЕРНАР ДЭНЬЕ

  Изобретение относится к электронной и ионной микроскопии. Прибор для микроанализа образца твердого тела содержит в вакуумной камере 18 источник 9 первичных ионов, электростатические системы 10, 4 формирования ионного зонда, систему 15 сканирования ионного зонда, подвижьатй объектодержатель 7, плоскость которого перпендикулярна первой оптической оси, систему 13 фокусировки вторичн...