МЕЛЬНИК РИММА ИОСИФОВНА

  Изобретение относится к оптике и может быть использовано в полупроводниковой и электронной промышленности. Цель - повышение точности и производительности измерения двупреломления. В способе измерения двупреломления в по.чупроводниках пропускают излучение, модулированное по азимуту плоскости поляризации, через образец 4 и компенсатор 6 при двух ориентацпях скрещенного положения по...