СТЕПКИНА ЛЮДМИЛА ВАСИЛЬЕВНА

  Изобретение относится к способам бесконтактного определения концентрации локальных центров в полупроводниковых материалах путем пропускания электромагнитного излучения через образец . Цель изобретения - повышение точности и расширение диапазона определяемых концентраций. Согласно способу , настраивают частоту источника электромагнитного излучения таким образом , чтобы энергия ква...