PatentDB.ru — поиск по патентным документам

СЕВОСТЬЯНОВ ОЛЕГ ИВАНОВИЧ

Изобретатель СЕВОСТЬЯНОВ ОЛЕГ ИВАНОВИЧ является автором следующих патентов:

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

  Изобретение относится к получению покрытий. Цель изобретения - повышение равномерности и однородности покрытия, а также расширение эксплуатационных возможностей. Внутрикамерная система откачки установлена . по периметру камеры соосно подложкодержателю с возможностью вертикального перемещения и охватьшает внутрикамерную парораспределительную систему, расположенную над подложкодерж...

1420068