СКУЛКИН ВЛАДИМИР АНАТОЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к получению покрытий. Цель изобретения - повышение равномерности и однородности покрытия, а также расширение эксплуатационных возможностей. Внутрикамерная система откачки установлена . по периметру камеры соосно подложкодержателю с возможностью вертикального перемещения и охватьшает внутрикамерную парораспределительную систему, расположенную над подложкодерж...