АЙВАЗОВ В.Я.

  Изобретение относится к электронной технике,а именно к технологии из-. готовления интегральных схем,в частности к получению проводящих элемен- ; тов заданной конфигурации из поликристаллического кремния, лежащего на слое окисла кремния .Цель изобретения - повышение качест аа травления за счет получения заданных профиля травления, ухода размеров и селективности травления . Травлен...