СОТНИКОВ ВАСИЛИЙ СЕМЕНОВИЧ

  Изобретение относится к электротехнической и электронной технике, а именно к полупроводниковой технологии , а также к ряду смежных областей. Цель - повышение степени очистки поверхности за счет уменьшения содержания на ней органических и неорганических загрязнений. Отмывку поверхности кремния осуществляют в аммиачном растворе с ,5 при температуре 40-90 С, причем в процессе от-; м...

  . БЦ, 1781166 А1 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК кен размещенными по периметру между электродами световодами, соединенными с 20 источником ультрафиолетового излучения, а электроды выполнены рифлеными и сек- .. ционированными;