КОЛОБОВ А.В.

  СОЮЗ СОЕЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕа1УБЛИН (51) 5 G 03 Р 7/26 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЫТИЙ (46) 07„04.92. Бюл. Р 13 (21) 4048580/? 1 (22) 03,04,86 (71) Физико-технический институт им.A.Ô,Èoôôå (72) А.В.Колобов и В.М.Любин (53) 621.382.002(088.8) (56) Несеребряные фотографические процессы поп ред. A.Ï.Êàðòóæàíñêoãî. Л., Химия, 1984, с. 221-222...

  Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении высокоразрешающих шаблонов для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа. На подложку испарением в вакууме наносят пленку халькогенидного стеклообразного полупроводника (ХСП) системы...

  Изобретение относится к области оптической обработки информации, в частности к способам получения изображения на халькогенидных структурах, и может найти применение в системах записи информации и голографии. Цель - повышение светочувствительности структуры, Исходную структуру As2Ss/Ag освещают избирательно видимым светом с энергетической освещенностью I 10 мВт/см2 в течение време...