Алексеенко Е.В.

 Изобретение относится к электронной технике и может использоваться для обезгаживания микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Цель изобретения повышение производительности достигается за счет использования цилиндрической геометрии источников потока электронов, что позволяет обеспечить одновременную обработку партии микроканальных пластин в равномерном потоке электронов. Уст...