СОЛОВЬЕВ КОНСТАНТИН ВЯЧЕСЛАВОВИЧ

  Изобретение относится к области спектроскопии заряженных частиц, в частности растровой электронной Ожеспектрометрии и растровой ионной Ожеспектроскопии . Изобретение расширяет функциональные возможности прибора за счет увепичения площади сканирования образца и увеличения диапазона перемещений образца вдоль оси цилиндрического зеркала. При этом обеспечивается упрощение изготовлени...