Красильникова В.В.

 Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить чувствительность устройства. Преобразователь представляет собой монокристалл 1 кремния с мембраной 2, сформированной в нем способом анизотропного травления. В периферийных областях мембраны 2 расположены тензорезисторы R1-R4 образованные последовательным соединением резистивных полосок 3 и 4, размещенных внутри области, ог...