Былинкин С.Ф.

 Использование: в области приборостроения для изготовления элементов, используемых в конструкциях микромеханических устройств, которые получают методами микроэлектроники. Сущность изобретения: при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кристалл во внутренних углах элементов выполняют топологические припуски, из которых после травления получаются компенсаторы, снижающие напряжени...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для создания гироскопов с колеблющимися массами. Микромеханический гироскоп содержит чувствительный элемент, установленный на упругих подвесах и служащий подвижным электродом 9, неподвижные электроды 7, 8, 10, расположенные по обеим сторонам от неподвижного электрода 9, силовой электростатический преобразователь и чувствите...

 Использование: при изготовлении упругих элементов микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является повышение качества изготавливаемых упругих элементов за счет повышения их прочности и повторяемости упругих характеристик. Сущность изобретения: согласно предложенному способу полученным размерным анизотропным травлением элементы из монокристаллического кремния легиру...

 Использование: в микроэлектронике для формирования элементов микроструктур. Сущность изобретения: в качестве материала для маски, изготавливаемой методом фотолитографии, берется монокристаллический кремний, который травится анизотропно, причем сторону маски, прилегающую к напыляемой поверхности обрабатываемого кристалла, травят одновременно с этой поверхностью. Техническим результатом изо...

 Использование: для изготовления упругих элементов микромеханических акселерометров, используемых для подвеса их чувствительных масс. Техническим результатом изобретения является повышение прочности конструкции микромеханического устройства. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кри...

 Изобретение может применяться для построения волновых твердотельных гироскопов на пьезоэлектрическом монокристалле. Резонатор содержит диск, установленный на стержне, который находится на основании. На верхней поверхности диска имеется несколько сегментных электродов, а на нижней поверхности - общий электрод. В центральной части диска, равной диаметру стержня, на электродах выполнены конт...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для силового управления чувствительными массами микромеханических датчиков типа акселерометров и т.п. Преобразователь силы содержит маятниковый узел, изготовленный из единого монокристалла проводящего кремния и содержащий подвижный элемент 3 на упругих подвесах 7 и опорную рамку 4, из которой выходят подвесы 7. Рамка 4 имее...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Технический результат - повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент содержит жесткую внешнюю рамку (1) и центр (9), который соединен с рамкой (1) четырьмя несущими жесткими растяжками (8), расположенными крестообразно. Между рамкой (1) и центром (9) на тридцати двух упр...

 Изобретение может применяться для подвеса чувствительных масс в интегральных акселерометрах или микрогироскопах. Задача изобретения - повышение точности прибора за счет снижения гистерезиса и температурных деформаций подвеса. Упругий подвес содержит отдельно выполненные несущие и токопроводящие элементы с проводящими дорожками, соединяющие чувствительную массу с рамкой прибора и расположе...