Миронов С.Г.

  Использование: в области изучения поведения рыб, а именно для изучения их реакций на воздействие пищевых раздражителей. Сущность изобретения: устройство для изучения воздействия на рыб пищевых раздражителей представляет собой емкость, в которой размещены датчики, содержащие каждый две пары контактов, одна из которых образована консольно закрепленными одна над другой с возможностью углово...

 Использование: в области приборостроения для изготовления элементов, используемых в конструкциях микромеханических устройств, которые получают методами микроэлектроники. Сущность изобретения: при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кристалл во внутренних углах элементов выполняют топологические припуски, из которых после травления получаются компенсаторы, снижающие напряжени...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для создания гироскопов с колеблющимися массами. Микромеханический гироскоп содержит чувствительный элемент, установленный на упругих подвесах и служащий подвижным электродом 9, неподвижные электроды 7, 8, 10, расположенные по обеим сторонам от неподвижного электрода 9, силовой электростатический преобразователь и чувствите...

 Использование: при изготовлении упругих элементов микромеханических датчиков. Техническим результатом изобретения является повышение качества изготавливаемых упругих элементов за счет повышения их прочности и повторяемости упругих характеристик. Сущность изобретения: согласно предложенному способу полученным размерным анизотропным травлением элементы из монокристаллического кремния легиру...

 Использование: в микроэлектронике для формирования элементов микроструктур. Сущность изобретения: в качестве материала для маски, изготавливаемой методом фотолитографии, берется монокристаллический кремний, который травится анизотропно, причем сторону маски, прилегающую к напыляемой поверхности обрабатываемого кристалла, травят одновременно с этой поверхностью. Техническим результатом изо...

 Использование: для изготовления упругих элементов микромеханических акселерометров, используемых для подвеса их чувствительных масс. Техническим результатом изобретения является повышение прочности конструкции микромеханического устройства. Сущность изобретения: в способе изготовления упругого элемента микромеханического устройства при фотолитографическом нанесении рисунка на исходный кри...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться для силового управления чувствительными массами микромеханических датчиков типа акселерометров и т.п. Преобразователь силы содержит маятниковый узел, изготовленный из единого монокристалла проводящего кремния и содержащий подвижный элемент 3 на упругих подвесах 7 и опорную рамку 4, из которой выходят подвесы 7. Рамка 4 имее...

 Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных гироскопах вибрационного типа. Технический результат - повышение точности гироскопа. Чувствительный элемент содержит жесткую внешнюю рамку (1) и центр (9), который соединен с рамкой (1) четырьмя несущими жесткими растяжками (8), расположенными крестообразно. Между рамкой (1) и центром (9) на тридцати двух упр...

 Изобретение может применяться для подвеса чувствительных масс в интегральных акселерометрах или микрогироскопах. Задача изобретения - повышение точности прибора за счет снижения гистерезиса и температурных деформаций подвеса. Упругий подвес содержит отдельно выполненные несущие и токопроводящие элементы с проводящими дорожками, соединяющие чувствительную массу с рамкой прибора и расположе...