ПРЯХИН ГЕННАДИЙ ДМИТРИЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет улучшить метрологические характеристики тензопреобразователя, а также уменьшить его геометрические размеры.Из- .меряемоё давление прогибает прямоугольную мембрану с выполненными на ней углублением и прямоугольными выступами . При этом тензорезисторы, расположенные на периферии мембраны и в ее центральной части между выступ...

  Сущность изобретения: преобразователь состоит из корпуса, внутри которого размещен кристалл из чувствительного элемента , состоящий из основания с массивной частью и трехслойной профилированной с одной стороны мембраны. Крайние слои мембраны выполнены из двуокиси кремния, средний из поликристаллического или рекристаллизованного кремния. Структура тензочувствительных компонентов,...

  Использование: технология изготовления интегральных механоэлектрических преобразователей. Сущность изобретения: металлические контактные площадки формируют с непланарной стороны полупроводниковой пластины, т.е. со стороны глубокого травления кремния, что исключает контакт металлических площадок с внешней измеряемой средой и приводит к увеличению надежности и повышению выхода годн...

  Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным измерительным механоэлектрическим преобразователям. Сущность: предложен интегральный тензопреобразователь механического воздействия. Тенэочувствительные компоненты расположены на пленарной (верхней) стороне упругого элемента, металлизированные контактные площадки расположены внутри канавок ма...

  Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности к интегральным измерительным механоэлектрическим преобразователям. Сущность: предложен интегральный тензопреобрэзователь механического воздействия. Тензочувствительные компоненты расположены на профилированной (нижней) стороне упругого элемента, металлизированные контактные площадки расположены внутри канав...