ЖУРАВЛЕВ Б.Б.

  СОЩУР ДЩЕТСНИК СООИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК А! (51)5 В 01 П 61/ Ð ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ И A В ТОРСКОМУ CBMPEYÅËÜCÒÈÓ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ. (46) 30.05.92. Бюл. № 20 (21) 4060527/.26 .1 (22) 03.03.86 . (72) В.Б. Журавлев, Г.К. Салдадзе и В.Н. Северцев (532 621.359.7(088.82 (562 Деминерализация методом электродиализа./Под ред. Д. Уилсона....

  Изобретение относится к технологии очистки полупроводниковых структур от загрязнений ионами реагентов при их обработке Устройство может быть использовано в электронной промышленности при пленарной технологии изготовления полупро оодниковых приборов Целью изобретения является экономия воды и электроэнергии при одновременном повышении качества очистки Цель изобретения достигается т...