Яшманова Н.П.

 Изобретение касается галоидуглеводородов, в частности способа очистки гексафторэтана - травильного средства для изготовления интегральных схем в электронной промышленности. Цель - упрощение процесса. Очистку ведут адсорбцией тетрафторэтилена высококремнеземистым синтетическим цеолитом - эрионитом формулы (Na2O K2O) Al2O3 (6-7,4) SiO2 при комнатной температуре. Способ позволяет получать...