Казарин И.Г.

 Изобретение предназначено для прикладной физики и может быть использовано при изготовлении элементов для микроэлектроники, защитных покрытий полупроводниковых приборов, инфракрасных светочувствительных элементов и светофильтров. Подложку из кремния, ситалла, стекла, лавсана или победита устанавливают на катоде ионной пушки, бомбардируют ионами аргона 2 мин. Заменяют аргон на углеродсодерж...