PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Казарин И.Г.

Изобретатель Казарин И.Г. является автором следующих патентов:

Способ выращивания слоя твердого углерода

Способ выращивания слоя твердого углерода

 Изобретение предназначено для прикладной физики и может быть использовано при изготовлении элементов для микроэлектроники, защитных покрытий полупроводниковых приборов, инфракрасных светочувствительных элементов и светофильтров. Подложку из кремния, ситалла, стекла, лавсана или победита устанавливают на катоде ионной пушки, бомбардируют ионами аргона 2 мин. Заменяют аргон на углеродсодерж...

2202513