ЧЕРНЫХ ИВАН СТЕПАНОВИЧ

  Изобретение откосится к области электроники и предназначено для зондового контроля параметров полупроводниковых пластин. Контактное устройство содержит стол 2 для контролируемого изделия 3, который неподвижно соединен с держателем 4, образующий с Г-образными упругими зондами 5 зондовую головку. Стол 2 вьшолпен в форме вибролотка, сопряженноИ X 8 5/J /7/7 го с корпусом посредством...

  Сущность изобретения: на базовой плите смонтированы устройства предварительной и окончательной ориентации пластин. Устройство окончательной ориентации пластин состоит из транспортера, подвижного упора, устройства линейного перемещения пластин и блока оптического контроля. Подвижный упор выполнен в виде планки с вырезом. 5 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (51)5...