КОТВИЦКИЙ ВАЛЕРИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к области станкостроения и может быть использовано в производстве полупроводниковых материалов. Цель изобретения - создание регулируемой нагрузки на обрабатываемую деталь. Устройство содержит кассету 1, цилиндр 2 с вакуумной магистралью 3, шток 4, на который подвижно установлены кольца 5 и 6 с уплотнениями 7, 8,и 9, гильзу 10 и клапан 11. Шток 4 и кольца 5 и...