БАСАЛАЕВ СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение относится к осветительньм устройствам и м.б. использовано при разработке проекционных установок для фотолитографии. Цель изобретения - увеличение поля освещенности с высокой равномер .ностью распределения освещенности. Счет от источника 1 фокусируется коллектором 2 на поверхности тового интегратора 4. Полевая линза 6 передает изображение поверхности светового интеграт...